石墨舟的HF清洗步骤_宜兴市湖新石墨制品有限公司

一般舟在运行100至150次后就应该进行清洗,这是因为石墨舟上的SiN会随着运行次数的增加而增加，影响石墨舟的正常使用。
在室温条件下(<40°C)，将石墨舟的部件放入HF浓度(5–20%)的腐蚀槽内进行腐蚀。最好的浓度是10%，腐蚀时间为4~6小时。低浓度条件下，腐蚀槽会被产生的SiN颗粒污染，因此需要进行定期的过滤维护。浓度高于10%会对操作人员造成危险。所有部件应该被分开放入腐蚀槽内并且不可互相接触，这样HF酸就可以腐蚀到任何部位，这对于石墨连接块而言更为重要。
在2号纯水槽内将其用纯水漂洗4~6小时。
用PH-试纸检查流动的水是不是中性的，必须保证所有的蚀刻残渣(SiF4)都已经被洗掉，任何蚀刻残渣被带入炉管都可能引起沾污或者工艺问题。可以在石墨上看到白色的一层就是残渣，所有部件都必须分开放置这样可以避免酸液残留在其中。
在85°C条件下，将分离的舟各部件烘干24小时。
石墨像海绵一样可以蓄水并保持比较长的时间;在100°C以上烘干或者是在未干的状态下将其送入炉管会引起水的突然气化，这会使石墨破裂。将一个没有完全干燥的舟放入炉管还可能导致炉门边缘的侵蚀以及真空系统的过分沉积。
在提供的装配台上将舟装配好。检查有无损伤。
用CentroTherm提供的转矩扳手(0.6Nm)拧紧陶瓷螺丝，石墨螺丝比较易碎，因此必须用手小心拧紧。

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